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CGO-高低溫真空探針臺

簡要描述:CGO-高低溫真空探針臺
溫度范圍77K-675K(液氮);

可應用于真空及常規環境;

超高溫度分辨率;

特殊客制低溫系統;

具有*穩定性

  • 產品型號:CGO-2/CGO-4/CGO-6
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2023-06-20
  • 訪  問  量:2037
產品詳情

CGO-高低溫真空探針臺

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

CGO-高低溫真空探針臺

高溫無氧化測試:

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

    晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

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光學系統:

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

水平360度旋轉,Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素



◆ 其他組件:


真空組件

分子泵組/機械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機



可選附件

超高溫配件

顯示器

轉接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

高壓測試配件

分子泵組

激光系統

氣敏測試配件



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