高速掃描電子顯微鏡 

HEM6000

HEM6000是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。面向應(yīng)用場(chǎng)景的自動(dòng)化操作流程設(shè)計(jì)，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高速自動(dòng)化 

全自動(dòng)上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍

大場(chǎng)低畸變

跟隨掃描場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化的光軸，實(shí)現(xiàn)了更低的場(chǎng)邊緣畸變

低壓高分辨 

樣品臺(tái)減速技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低落點(diǎn)電壓，同時(shí)保證高分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用案例

大規(guī)模成像

規(guī)格書 

關(guān)鍵參數(shù) 

分辨率        1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 

                  1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；

加速電壓    100 V~6 kV(減速模式) 6 kV~30 kV(非減速模式) 

放大倍率     66~1,000,000x 

電子槍類型  高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 

物鏡類型     浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡 

樣品裝載系統(tǒng) 

真空系統(tǒng)    全自動(dòng)控制，無(wú)油真空系統(tǒng) 

樣品監(jiān)控    樣品倉(cāng)監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉(cāng)監(jiān)控垂直攝像頭

樣品最大尺寸     直徑4英寸 

樣品臺(tái) 

類型          電機(jī)驅(qū)動(dòng)3軸樣品臺(tái)（*可選配壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)） 

行程          X、Y軸：110mm；Z軸：28mm；

重復(fù)定位精度     X軸：±0.6 um；Y軸：±0.3 um 

換樣方式   全自動(dòng)控制 

換樣時(shí)間   ＜15 min 

換樣倉(cāng)清洗        全自動(dòng)控制等離子清洗系統(tǒng) 

圖像采集與處理 

駐點(diǎn)時(shí)間    10 ns/pixel 

圖像采集速度     2*100 M pixel/s 

圖像大小    8K*8K 

探測(cè)器和擴(kuò)展 

標(biāo)配 

鏡筒內(nèi)混合電子探測(cè)器 

選配

低角度背散射電子探測(cè)器 

鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測(cè)器 

壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) 

高分辨大場(chǎng)模式

樣品倉(cāng)等離子清洗系統(tǒng) 

6英寸樣品裝載系統(tǒng)

主動(dòng)減震臺(tái) 

AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu) 

軟件 

語(yǔ)言  中文 

操作系統(tǒng) Windows 

導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 

自動(dòng)功能 自動(dòng)樣品識(shí)別、自動(dòng)選區(qū)拍攝、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散

服務(wù)

掃描電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室 

我們?cè)诤戏省o(wú)錫、廣州和上海設(shè)有掃描電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室，實(shí)驗(yàn)室配備多名電鏡技術(shù)專家和高級(jí)電鏡應(yīng)用工程師，提供包含電 鏡應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)、樣品拍攝在內(nèi)的多種服務(wù)。主要應(yīng)用領(lǐng)域有鋰電池、新型納米材料、半導(dǎo)體材料、礦物冶金、地質(zhì)勘探、生物醫(yī)藥等。 實(shí)驗(yàn)室依托國(guó)儀量子電鏡產(chǎn)品，在電鏡應(yīng)用領(lǐng)域開(kāi)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的科研項(xiàng)目，致力于實(shí)現(xiàn)科學(xué)研究和人才培養(yǎng)的目標(biāo)。與此同時(shí)，實(shí)驗(yàn)室也為有電鏡應(yīng)用需求的科研院所、大專院校、企事業(yè)單位提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。